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激光源
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全固态UV激光器,波长355nm
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激光功率
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10W
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最大加工幅面
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610mm×460mm(24″×18.1″)
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XY平台最大运行速度
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50m/min
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定位精度
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±3µm
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重复精度
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±1µm
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系统加工精度
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±20µm
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电源及功率
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单相220V/50HZ/4KW;三相380 V/50HZ/4KW
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吸尘要求
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8.6m3/min
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外形尺寸(长x宽x高)
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2210mmx1500mmx1500mm
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重量
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3500kg
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环境温度
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20℃±1℃
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湿度
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50~60%无结露
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地基振幅
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<5µm
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振动加速度
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<0.05G
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地面耐压
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2200kgf/m2
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